真空镀膜设备每完成200个镀膜程序以上，应清洁工作室一次,需用用烧碱（NaOH）饱和溶液反复擦洗真空室内壁，目的是使镀上去的膜料铝（AL）与NaOH发生反应，再用清水清洗真空室和用布沾汽油清洗精抽阀内的污垢。当粗抽泵连续工作一个月，需更换新油。方法是：拧开放油螺栓，放掉旧油，再将泵启动数秒，使泵内的旧油完全排放出来。拧回放油螺栓，加入新油至额定量,连续使用半年以上，换油时应将油盖打开，用布擦干净箱内污垢。